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雙層潔凈無氧烘箱CLASS10~100

雙層潔凈無氧烘箱class10~100

詳細介紹

適用于半導體晶圓后段晶圓片清洗之后的軟烤,硬烤,電鍍工藝,采用SUS304潔凈不銹鋼材質,進口超高效H.E.P.A過濾器,自動開關風門結構,通過內部不斷循環過濾,不斷過濾內部partical快速形成無氧潔凈環境,機臺采用大功率三相靜音低震動馬達,不銹鋼渦輪扇葉,獨特設計渦輪結構,結合雙循環風道,形成風量均勻的循環熱風,實現高潔凈,溫度均勻的無氧烘烤環境,確保烘烤物料受熱均勻,無氧化現象發生。

無塵烘箱(潔凈烘箱)FDC系列

設備型號

FDC-2

FDC-3

FDC-4

FDC-5

FDC-2D

FDC-3D

控溫范圍

                    50~200℃(最高可訂制400℃)

溫度分辨率

0.1

溫度波動度

 ±0.5℃

溫度均勻度

                            ±1.5%(200℃恒溫空載測試數據)

潔凈度

class100

過濾器效率

H13~H14

內部尺寸mm

W600*D500*H600

W600*D500*H900

W800*D600*H1000

W800*D800*H1000

(W600*D600*H500)*2

(W400*D400*H400)*3

外部尺寸mm

W950*D1180*H1410

W950*D1180*H1710

W1060*D1280*H1810

W1060*D1480*H1660

W1630*D1220*H1780

W1430*D1020*H1880

層架

2PCS

4PCS

電源

AC 220V 50HZ

AC 380V 50HZ

功率

7KW

9KW

12KW

16KW

16KW

18KW

定時范圍

0~99H/M/S

送風方式

單向水平送風

升溫時間

RT~200℃約20min

控溫方式

P.I.D

加熱執行組件


結構設計

單門,控制柜位于頂部

多倉,控制柜位于側面

內部材料

SUS304#

外部材料

SS41

外殼處理方式

烤    漆

安全保護措施

接地保護

過載保護

                                           相序保護

                                                                 超溫保護

                                                                   獨立限溫保護

選配

7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線,USB轉存儲功能,配套PC端軟件及聯網端口)

φ25mm/φ50mm/φ100mm測試孔

電磁門禁系統

溫度校準

非標訂制服務


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