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不銹鋼無塵潔凈烘箱

ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烘箱)-FDC系列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

詳細介紹

產品簡介:

ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烘箱)-FDC系列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

產品特點:

●內膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE

●外殼:采用1.5mm厚 SUS304#不銹鋼,表面拉絲處理(SS41#鋼板經酸洗磷化等防銹處理后噴塑可選)

●保溫層:采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm

●過濾器:進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過濾效率99.999%

●壓差計:進口壓差計,監控H.E.P.A工作狀態。

●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5% 

●溫度傳感器:日制進口CA感應棒±0.5%,精度高,誤差小

●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環境下長期穩定工作

●電熱發生器:覆套式無塵化電熱發生器

●風門調節:進口伺服電機自動風門裝置,自動控制風門開關,確保烘烤前后箱內密閉

●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈門扣,易開易關。

●密封膠條:采用改性無氟硅橡膠材質,耐高溫,不易老化,密封性極佳

●支撐腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動,同時配置4只水平調整腳杯

選配組件:

1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實現99段*99組程序控溫。

2.測試孔:可在側面加裝Φ35mm測試孔

3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過程箱門密閉,內部環境不被破壞。

4.多點溫度記錄:可配置多點溫度記錄儀,打印機或RS485接口,連接打印機或PC設備,監控記錄溫度狀況。

5.三色指示燈:工作狀態指示燈,待機,運行,故障閃燈光警示。

6.其它非標訂制:可根據客戶實際需求提供產品訂制

FDC系列無塵潔凈烘箱規格一覽表:

無塵烘箱(潔凈烘箱)FDC系列

設備型號

FDC-2

FDC-3

FDC-4

FDC-5

FDC-2D

FDC-3D

控溫范圍

                    50~200℃(最高可訂制400℃)

溫度分辨率

0.1

溫度波動度

 ±0.5℃

溫度均勻度

                            ±1.5%(200℃恒溫空載測試數據)

潔凈度

class100

過濾器效率

H13~H14

內部尺寸mm

W600*D500*H600

W600*D500*H900

W800*D600*H1000

W800*D800*H1000

(W600*D600*H500)*2

(W400*D400*H400)*3

外部尺寸mm

W950*D1180*H1410

W950*D1180*H1710

W1060*D1280*H1810

W1060*D1480*H1660

W1630*D1220*H1780

W1430*D1020*H1880

層架

2PCS

4PCS

電源

AC 220V 50HZ

AC 380V 50HZ

功率

7KW

9KW

12KW

16KW

16KW

18KW

定時范圍

0~99H/M/S

送風方式

單向水平送風

升溫時間

RT~200℃約20min

控溫方式

P.I.D

加熱執行組件


結構設計

單門,控制柜位于頂部

多倉,控制柜位于側面

內部材料

SUS304#

外部材料

SS41

外殼處理方式

烤    漆

安全保護措施

接地保護

過載保護

                                           相序保護

                                                                 超溫保護

                                                                   獨立限溫保護

選配

7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線,USB轉存儲功能,配套PC端軟件及聯網端口)

φ25mm/φ50mm/φ100mm測試孔

電磁門禁系統

溫度校準

非標訂制服務


備注:所有機型外觀尺寸僅供參考,實際尺寸以實物為準


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